半导体制造工艺.ppt

1.1　引言
1.2　基本半导体元器件结构
1.3　半导体器件工艺的发展历史
1.4　集成电路制造阶段
1.5　半导体制造企业
1.6　基本的半导体材料
1.7　半导体制造中使用的化学品
1.8　芯片制造的生产环境