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绒面ZnO透明导电薄膜，朱锋，薛玉明，采用孪生ZnO (Al2O3:2%)对靶直流磁控溅射制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜（迁移率为5.56 cm2/V•s，载流子浓度为4.57×1020cm-3，电阻�
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