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反应溅射氮化铁纳米晶薄膜的霍耳效应，米文博，封秀平，采用反应溅射法制备氮化铁纳米晶薄膜。随着氮气流量的增加，薄膜中的主要相从α-Fe(N)转变为ξ-Fe2N，导电机制也从金属性向半导体特性
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