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溶胶凝胶法制备的偏锡酸锌薄膜结构表征，张海娇，焦正，偏锡酸锌是一种用于氮氧化物和湿度检测的新型材料，近年来受到越来越多的重视。本文中采用溶胶凝胶技术在氧化铝和硅片衬底上成功
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