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重掺磷直拉硅单晶中的原生缺陷，曾俞衡，马向阳，本文研究了重掺磷直拉硅单晶中的原生缺陷.结果表明,重掺磷直拉硅单晶相对于轻掺磷直拉硅单晶有更高的原生缺陷,这些原生缺陷主要容
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