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E84
SEMI E84-0301 SPECIFICATION FOR ENHANCED CARRI
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上传人：haoyisheng
发布日期：2023-10-03
设备自动化协会标准文档，半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。自99年在E23的基础上制定了E84后，E84逐渐成为主流，开发必备。
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SEMI E84-0301 SPECIFICATION FOR ENHANCED CARRI
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