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SECSII
SECS通讯协议文档 SECSII文档
0
编程语言：
其他
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上传人：rtesd
发布日期：2021-04-04
半导体行业的设备通讯协议，SECSII 协议开发文档，英文版
SECS-HSMS 底层协议详细文档
1
编程语言：
其他
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金币：
上传人：fuaoxing55
发布日期：2021-04-02
由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚，和设备通信的SECS协议文档很难找全，很少有详细介绍每个SxFx的功能定义，资源相对缺乏，特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些
2条
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