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光刻技术概述，中科大内部课程，内 0

编程语言：其他大小：金币：上传人：ligangyuer 发布日期：2023-10-11

主要内容：本课程围绕超大规模集成电路制造中的先进光刻技术，陈述与之相关的理论、设备、材料、测量与控制等。为了适应当前先进光刻的需求，本课程会重点讲述在14nm及以下节点

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