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光刻
超大规模集成电路先进光刻理论与应
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上传人:pppxxx
发布日期:2024-01-29
光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。在集成电路制造中,正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律得以继续。本书覆盖现代光刻技术的重要方面,包括设备、材料、仿真(计
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