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论文研究 - 多孔硅作为低频MEMS微机电 0

编程语言：其他大小：金币：上传人：fuaoxing55 发布日期：2021-04-12

这项研究集中在以地震质量结束的多孔硅双层悬臂上硅的机械响应。多孔硅旨在为降低低频MEMS应用的悬臂刚度提供替代方案。悬臂的第一本征频率是使用在经典Euler-Bernoulli假设和瑞利

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