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论文研究 - 射频和直流辉光放电等离 0

编程语言：其他大小：金币：上传人：haoyisheng 发布日期：2021-04-11

光学元件的表面由抗反射涂层（ARC）沉积，以减少光的反射。在通过等离子体沉积ARC之前，需要对表面进行处理，以通过等离子体进行处理，以提高附着力和表面硬化。通过比较RF和

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