SECS Emulator secs gem调试工具

ITRI CIM Emulator能够读取SML档案，主要功能是用来测试半导体设备的通讯功能，它支持SECS-I/SECS-II/HSMS-SS通讯协议，支持SML格式，具有强大易用的自动化测试功能，免安装即拷即用。 使用前需要先将RS232连接线接好运行软件，选择检视。在设定SECS-I对话窗口中输入相关的通讯参数。