SECS-HSMS 底层协议详细文档

由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚，和设备通信的SECS协议文档很难找全，很少有详细介绍每个SxFx的功能定义，资源相对缺乏，特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。