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微机电系统电容式微位移检测电路研究
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文件类型: .pdf
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发布日期: 2021-04-12
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标签
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灵敏度
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资源简介
针对通常微机电系统(MEMS)器件或仪表中微小位移/角度等电容式微弱信号检测的需要,提出了一种基于单载波激励和环形二极管解调的方案,主要包含C/V转换、带通滤波,环形二极管解调,差动放大等环节。基于PSpice的仿真与测试实验表明,该电路检测灵敏度可达3.12V/pF,可满足通常MEMS器件的纳米级微位移测量,且具有体积小、功耗低、易集成等特点,对于微加速度计、陀螺仪、压力传感器等具有良好的实用价值。
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